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Elektrodynamischer MEMS-Lautsprecher mit Membran aus metallischem Glas

* Presenting author
Day / Time: 21.03.2018, 16:40-17:00
Room: MW 2050
Typ: Vortrag (strukturierte Sitzung)
Abstract: Miniaturisierte Lautsprecher sind heutzutage in allen mobilen Endgeräten wie Smartphones, Tablets und Laptops zu finden. Die fortschreitende Reduzierung von Bauhöhen der Geräte erfordert auch eine weitergehende Miniaturisierung der Lautsprecher. Deshalb wird verstärkt am Einsatz von Verfahren der Mikrosystemtechnik gearbeitet. Durch die parallele Prozessierung einer Vielzahl von Bauelementen wird gleichzeitig eine höhere Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Verringerung der Bauteilkosten erzielt. Basierend auf Verfahren der Mikrosystemtechnik wurde am Fraunhofer ENAS der Demonstrator für einen elektrodynamischen MEMS Lautsprecher in Silizium erarbeitet.Als Membran des MEMS-Lautsprechers kommt eine dünne Schicht aus metallischem Glas zum Einsatz. Dieses Material besitzt auf Grund seiner amorphen Eigenschaften herausragende mechanische Eigenschaften im Vergleich zu kristallinen Werkstoffen. In der Fertigung der Komponente werden Standardprozesse der Mikrotechnologie genutzt. In Verbindung mit additiven Fertigungsverfahren zur Abscheidung einer Magnetpaste mittels Siebdruck sowie Dispensverfahren zur Magnetintegration und einer Mikrospule wurde ein elektrodynamischer Aktor aufgebaut. Für die Prozessierung der Spule wurde die am ZfM der TU Chemnitz entwickelte Kupfertechnologie eingesetzt.