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Leistungsfähiger MEMS-basierter In-Ear-Lautsprecher mit piezoelektrischem Antrieb

* Presenting author
Day / Time: 21.03.2018, 17:40-18:00
Room: MW 2050
Typ: Vortrag (strukturierte Sitzung)
Abstract: In diesem Beitrag wird ein neuer leistungsfähiger MEMS-Lautsprecher für In-Ear-Anwendungen vorgestellt. Zentrales Element bildet ein in MEMS-Technologie gefertigter Silizium-Chip mit Aktuatoren, die über eine piezoelektrische PZT-Dünnschicht angetrieben werden. Die als Biegeschwinger ausgelegten Aktuatoren sind lediglich über wenige Mikrometer breite Schlitze mechanisch voneinander getrennt, woraus im hörbaren Frequenzbereich eine nahezu ideale akustische Trennung zwischen Front- und Rückvolumen resultiert. Dies ermöglicht es auf eine geschlossene Membran zu verzichten, wodurch sich signifikante herstellungs- und leistungsbezogene Vorteile ergeben. Messungen an aufgebauten Prototypen mit Rückvolumen zeigen eine hohe Leistungsfähigkeit bei geringem Bauvolumen. So werden in einem IEC 60318-4 Ohr-Simulator im gesamten hörbaren Frequenzbereich Schalldruckpegel von mehr als 100 dB erreicht. Darüber hinaus zeichnen sich die MEMS-In-Ear-Lautsprecher durch einen außergewöhnlich flachen Frequenzgang aus, der über eine optimierte Ansteuerung erzielt wird.